АО "МосЭП" в 2015 году продолжает цикл семинаров по проблемам организации производства электронной компонентной базы (ЭКБ) с высокими технико-экономическими показателями.
Очередной семинар из вышеуказанного цикла на тему: "Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники" состоится в четверг, 26 марта 2015 года в 10-00 в здании АО "МосЭП" по адресу: Москва, ул. Космонавта Волкова, 12, 2-й этаж, комната 202.
Докладчиками будут специалисты: ООО "Микросистемы" (Россия).
Приглашаем Вас и Ваших специалистов, имеющих непосредственное отношение к решению этих вопросов, принять самое активное участие в работе семинара.
ПРОГРАММА СЕМИНАРА
"Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники"
26 марта 2015 года АО «Мосэлектронпроект»
Время |
Тематические вопросы |
Докладчик |
---|---|---|
10:00-10:05 |
Вступительное слово. Представление докладчиков и программы |
Бартенев Владимир Яковлевич, зам. генерального директора АО «МосЭП» |
10:05-10:25 |
Введение. Презентация группы компании Crestec, Sokol и Микросистемы |
Лавров Дмитрий Анатольевич, ООО «Микросистемы» |
10:25-11:25 |
Система электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL-9000 Crestec |
H. Ohyi, президент компании Crestec |
11:25-11:45 |
Электронно-лучевой литограф сверхвысокого разрешения CABL-UH110 Crestec |
|
11:45-12:00 |
Многолучевая электронная литография |
|
12:00-13:00 |
Обед |
|
13:00-13:20 |
Оборудование Keyence для контроля дефектов и проведения высокоточных измерений в микроэлектронике |
Музипов Эрик Рифатович ООО «Микросистемы» |
13:20-13:30 |
Лабораторное оборудование Hund (стереомикроскопия) для контроля микродефектов |
|
13:30-13:45 |
Инспекционная микроскопия Olympus для контроля микродефектов. |
|
13:45-14:00 |
Обновление парка микроскопов пользователя. Модернизация микроскопов современными цифровыми системами. |
|
14:00-14:30 |
Рамановская 3-D микроскопия: разрешение, скорость и пропускная способность |
Лавров Сергей Дмитриевич ООО «Микросистемы» |
14:30-15:00 |
Демонстрация работы цифрового микроскопа Keyence VHX-5000. |
Музипов Эрик Рифатович ООО «Микросистемы» |
15:00-15:30 |
Обсуждение. Ответы на вопросы |
|
Контакты организатора АО "МосЭП"
Emai: baikov_sa@mosep.ru
Телефон: (495) 708-21-18
Схема проезда
АО «Мосэлектронпроект»
Адрес: 127299, Москва ул. Космонавта Волкова д.12
Проезд:
М Войковская, выход из первого вагона при движении из центра. При выходе из метро в подземном переходе повернуть налево, а затем направо по лестнице. Впереди остановка (напротив магазина «Свет») троллейбуса № 57, автобуса № 780 и маршрутные такси (подходит все). Доехать до остановки "Улица Космонавта Волкова" (4-ая остановка), которая находится примерно в 50 метрах, не доезжая до дома № 12 (маршрутку попросить остановить у дома № 12).
М Петровско-Разумовская, 10-20 мин пешком до ост. “Мост Октябрьской железной дороги”, далее тролейбус 57 или маршрутка 661 до остановки “платформа Красный Балтиец”
На электричке по Рижскому направлению РЖД: с Курскoго вокзала или из городов Истра и Волоколамск до платформы "Красный Балтиец" (далее 7 мин пешком).