АО "МосЭП" в 2015 году продолжает цикл семинаров по проблемам организации производства электронной компонентной базы (ЭКБ) с высокими технико-экономическими показателями.
Очередной семинар из вышеуказанного цикла на тему: "Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники" состоится в четверг, 26 марта 2015 года в 10-00 в здании АО "МосЭП" по адресу: Москва, ул. Космонавта Волкова, 12, 2-й этаж, комната 202.
Докладчиками будут специалисты: ООО "Микросистемы" (Россия).
Приглашаем Вас и Ваших специалистов, имеющих непосредственное отношение к решению этих вопросов, принять самое активное участие в работе семинара.
ПРОГРАММА СЕМИНАРА
"Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники"
26 марта 2015 года АО «Мосэлектронпроект»| Время | Тематические вопросы | Докладчик |
|---|---|---|
| 10:00-10:05 | Вступительное слово. Представление докладчиков и программы |
Бартенев Владимир Яковлевич, зам. генерального директора АО «МосЭП» |
| 10:05-10:25 | Введение. Презентация группы компании Crestec, Sokol и Микросистемы |
Лавров Дмитрий Анатольевич, ООО «Микросистемы» |
| 10:25-11:25 | Система электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL-9000 Crestec | H. Ohyi, президент компании Crestec |
| 11:25-11:45 | Электронно-лучевой литограф сверхвысокого разрешения CABL-UH110 Crestec | |
| 11:45-12:00 | Многолучевая электронная литография | |
| 12:00-13:00 | Обед | |
| 13:00-13:20 | Оборудование Keyence для контроля дефектов и проведения высокоточных измерений в микроэлектронике | Музипов Эрик Рифатович, ООО «Микросистемы» |
| 13:20-13:30 | Лабораторное оборудование Hund (стереомикроскопия) для контроля микродефектов | |
| 13:30-13:45 | Инспекционная микроскопия Olympus для контроля микродефектов. | |
| 13:45-14:00 | Обновление парка микроскопов пользователя. Модернизация микроскопов современными цифровыми системами. | |
| 14:00-14:30 | Рамановская 3-D микроскопия: разрешение, скорость и пропускная способность | Лавров Сергей Дмитриевич, ООО «Микросистемы» |
| 14:30-15:00 | Демонстрация работы цифрового микроскопа Keyence VHX-5000. | Музипов Эрик Рифатович, ООО «Микросистемы» |
| 15:00-15:30 | Обсуждение. Ответы на вопросы |
Контакты организатора АО "МосЭП"
Emai: baikov_sa@mosep.ru
Телефон: (495) 708-21-18
Схема проезда
АО «Мосэлектронпроект»
Адрес: 127299, Москва ул. Космонавта Волкова д.12
Проезд:
М Войковская, выход из первого вагона при движении из центра. При выходе из метро в подземном переходе повернуть налево, а затем направо по лестнице. Впереди остановка (напротив магазина «Свет») троллейбуса № 57, автобуса № 780 и маршрутные такси (подходит все). Доехать до остановки "Улица Космонавта Волкова" (4-ая остановка), которая находится примерно в 50 метрах, не доезжая до дома № 12 (маршрутку попросить остановить у дома № 12).
М Петровско-Разумовская, 10-20 мин пешком до ост. “Мост Октябрьской железной дороги”, далее тролейбус 57 или маршрутка 661 до остановки “платформа Красный Балтиец”
На электричке по Рижскому направлению РЖД: с Курскoго вокзала или из городов Истра и Волоколамск до платформы "Красный Балтиец" (далее 7 мин пешком).