Литограф CABL-UH110
Цена: по запросу
Термоэмиссионное поле до 110 кВ.
Литограф для R&D и серийного производства. Выполняет отрисовку субмикронной и наноразмерной топологии полупроводниковых устройств.
Литограф имеет полное инженерное обеспечение и контроль внутренних параметров системы – 2-х зонный модуль контроля и поддержания стабильной рабочей температуры с системой кондиционирования, модуль источника бесперебойного питания, 2-х уровневый активный антивибрационный стол, автоматический модуль загрузки образцов, высокоточный X-Y-Z сканирующий стол с активной системой автофокуса и контроля положения.
Обеспечивает просмотр топологии в режиме СЭМ.
Электронная оптическая система обеспечивает работу в большом диапазоне ускоряющих напряжений
Компьютерная система управления электронно-оптической системой литографа (EOS), стабильная электронная пушка и большой набор специальных программных продуктов обеспечивают полную гарантию Пользователю в изготовлении ультратонких структур для приложений нового поколения оптико-коммуникационных устройств, МЭМС/НЭМС, датчиков в областях микроэлектроники, оптоэлектроники и нанотехнологий.
Все литографы компании Crestec
Оформить заказ на нашем сайте легко. Просто добавьте выбранные товары в корзину, а затем перейдите на страницу Корзина, проверьте правильность заказанных позиций и нажмите кнопку «Оформить заказ» или «Быстрый заказ».
Функция «Быстрый заказ» позволяет покупателю не проходить всю процедуру оформления заказа самостоятельно. Вы заполняете форму, и через короткое время вам перезвонит менеджер магазина. Он уточнит все условия заказа, ответит на вопросы, касающиеся качества товара, его особенностей. А также подскажет о вариантах оплаты и доставки.
По результатам звонка, пользователь либо, получив уточнения, самостоятельно оформляет заказ, укомплектовав его необходимыми позициями, либо соглашается на оформление в том виде, в котором есть сейчас. Получает подтверждение на почту или на мобильный телефон и ждёт доставки.
Выберите из списка название вашего региона и населённого пункта. Если вы не нашли свой населённый пункт в списке, выберите значение «Другое местоположение» и впишите название своего населённого пункта в графу «Город». Введите правильный индекс.
В зависимости от места жительства вам предложат варианты доставки. Выберите любой удобный способ.
Оплата
Выберите оптимальный способ оплаты.
Введите данные о себе: ФИО, адрес доставки, номер телефона. В поле «Комментарии к заказу» введите сведения, которые могут пригодиться курьеру, например: подъезды в доме считаются справа налево.
Проверьте правильность ввода информации: позиции заказа, выбор местоположения, данные о покупателе. Нажмите кнопку «Оформить заказ».
Наш сервис запоминает данные о пользователе, информацию о заказе и в следующий раз предложит вам повторить к вводу данные предыдущего заказа. Если условия вам не подходят, выбирайте другие варианты.
Вы можете выбрать один из трёх вариантов оплаты:
При выборе варианта оплаты наличными, вы дожидаетесь приезда курьера и передаёте ему сумму за товар в рублях. Курьер предоставляет товар, который можно осмотреть на предмет повреждений, соответствие указанным условиям. Покупатель подписывает товаросопроводительные документы, вносит денежные средства и получает чек.
Также оплата наличными доступна при самовывозе из магазина, оплаты по почте или использовании постамата.
При оформлении заказа в корзине вы можете выбрать вариант безналичной оплаты. Мы принимаем карты Visa и Master Card. Чтобы оплатить покупку, вас перенаправит на сервер системы ASSIST, где вы должны ввести номер карты, срок действия, имя держателя.
Вам могут отказать от авторизации в случае:
- если ваш банк не поддерживает технологию 3D-Secure;
- на карте недостаточно средств для покупки;
- банк не поддерживает услугу платежей в интернете;
- истекло время ожидания ввода данных;
- в данных была допущена ошибка.
В этом случае вы можете повторить авторизацию через 20 минут, воспользоваться другой картой или обратиться в свой банк для решения вопроса.
Безналичным расчётом можно воспользоваться при курьерской доставке, использовании постамата или самовывоза из магазина.
Для оплаты вы можете воспользоваться одной из электронных платёжных систем:
- PayPal;
- WebMoney;
- Яндекс.Деньги.
Вас перенаправит на страницу платежного сервиса, следуя инструкциям, заполните правильную форму.
| Gun/Acceleration Voltage TFE（ZrO/W emitter） | - 25-110kV (5 kV step) |
| Beam size/min. width | - 1,7nm |
| Exposure Area: | - 125mm x 125mm or 150mm.dia. |
| Scanning method | Vector scan(X,Y), Vector scan(r,theta) standard |
| Raster scan, spot scan(option) Field size modulation, Axial symmetrical pattern, RAM DAC digital spot writing, 3D writing method | |
| Min. address size | 0.0012nm (with Field Size Mod. Option) |
| Scan rate, dot.: | |
| Vector Scanning: | - 20000 x 20000 |
| (Four methods selectable) | - 60000 x 60000 |
| (20bit DAC) | - 240000 x 240000 |
| - 960000 x 960000 | |
| Raster Scanning Option: | |
| (Selectable) (14bit DAC) | - 10000 x 10000 |
| Scanning Rate: | |
| Vector Scanning | - Time Resolution |
| (Analog Scanning): | - 0.01 micro sec/pixel |
| (Digital Scanning): | - 0.05 micro sec/pixel |
| Stitching Accuracy: | - 35nm (Mean+3sigma, 120 micrometer .sq field) |
| - 20nm (Mean+2sigma, 60 micrometer .sq field) | |
| Overlay Accuracy: |
- 40nm (Mean+3sigma, 120 micrometer .sq field) |
| Workpiece Sizes: | - Snatches, 50, 100, 150 dia. Wafer |
| 4, 5, inch square Mask Blank Option |
- CAD software original CAD(standard), GDSⅡconversion(option),
- DXFC-01 conversion(option), proximity effect CPEC-01
- OS Windows XP
Обратная связь
Статьи
Электронно-лучевой литограф или электронный литограф – это установка для нанесения рисунка (экспонирования) сфокусированным электронным пучком на поверхность, покрытую электронно-чувствительным слоем (резистом).