Электронно-лучевой литограф CABL-AP
Цена: по запросу
Все литографы компании Crestec
- Удобный и простой интерфейс. Возможность управления сразу несколькими пользователями.
- Операционная система Windows OS, программное обеспечение для файлов формата GDSII & DXF CAD
- Точечный луч
- TFE излучатель
- Ширина линии <2 нм с 50kV ускоряющего напряжения
- Высокая точность сшивки и совмещения
- Стабильность тока и позиционирования луча
- Регулирование модуляции размера поля (запатентовано) -разрешение позиционирования 0.0012нм
- Chirped GRT
- Осесимметричный метод записи
- Термальный контроллер
| Ultra thin line | |
|
|
| 5.6nm line example | |
|
Line & Space |
||
|
|
|
| Minimum 40nm pitch 20nm Line & space | ||
| Dot patterns/HDD bit patterned media | ||
|
|
|
| Minimum10nmφ | ||
| 3D processing/Microlenses/Blazed Grating | |
|
|
|
Осесимметричный метод нанесения рисунка / экспериментальный рисунок профилированной среды жёсткого диска, |
|
|
|
|
|
| DFB лазер |
|
|
Next Generation 3gate MOS FET |
|
| Трёхмерная голография | |
|
|
| Wave Guide | |
|
|
| Photonic Crystal | |
|
- Gun/Acceleration Voltage TFE（ZrO/W）/5-50kV
- Beam size/min. width 2.0nm/10nm
- Scanning method Vector scan(X,Y), Vector scan(r,theta) standard
- Raster scan, spot scan(option) Field size modulation, Axial symmetrical pattern, RAM DAC digital spot writing, 3D writing method
- Field size 30umx30um,60umx60um,120umx120um,300umx300um, 600umx600um(standard)
- 1200umx1200um,2400umx2400um(option)
- Pixel 20,000x20,000dot,60,000x60,000dot@vector scan(standard)240,000x240,000dot@vector scan(option)4,000x4,000dot，4,000x4,000dot,10,000x10,000dot@raster scan(option)
- Min. address size 10nm@600umx600um field,2nm@120umx120um field(standard)
- 0.0012nm@500umx500um field(option)
- Scan rate/
- Resolution Vector scan(Analog): 0.05-300uS/0.01us(standard)
- Vector scan(Digital): 0.2-300uS/0.1us(standard)
- Raster scan: 0.3-300uS/0.1us(Option)
- Wafer size 4,6,8inchΦ(other size, other shape is OK)
- Stitching accuracy 50nm(3sigma)@500umx500um,
- 20nm(2sigma)@50umx50um
- Overlay accuracy 50nm(3sigma)@500umx500um, 20nm(2sigma)@50umx50um
- CAD software original CAD(standard),ＧDSⅡconversion(option), DXＦ conversion(option)
- OS Windows2000, XP
Обратная связь
Оформить заказ на нашем сайте легко. Просто добавьте выбранные товары в лист запроса или оставьте заявку, а затем перейдите на страницу Запроса, проверьте правильность заказанных позиций и нажмите кнопку «Оформить запрос».
Если не нашли подходящее оборудование, оставьте нам заявку, и наши специалисты вам помогут подобрать подходящее оборудование.
Оставить заявку
Функция «Оставить заявку» позволяет вам не проходить всю процедуру оформления запроса самостоятельно. Вы заполняете форму, и через короткое время вам перезвонит менеджер. Он уточнит все условия запроса, ответит на вопросы, касающиеся качества товара, его особенностей.
